走査電子顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井島藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-057192
公開番号（公開出願番号）：特開平8-255589
出願日： 1995年03月16日
公開日（公表日）： 1996年10月01日
要約：

【要約】【目的】小型で安価な構成とすることができ、また、開き角制御レンズの調整を行っても像点の再現性の良い走査電子顕微鏡を実現する。【構成】開き角制御レンズ14のレンズ14の像点は対物レンズ8の下方のI1 となるように制御されている。対物レンズ8はこの開き角制御レンズ14によって集束された電子ビームを試料9上に細く集束する。試料9に照射される電子ビームの開き角αは、開き角制御レンズ14の励磁を変化させ、開き角制御レンズ14の像点を光軸上で移動させることによって最適な値としている。また、開き角制御レンズ14を弱励磁としているため、その構成要素を小型とすることができる。更に、ヨーク材料としてパーマロイ等の低ヒステリシスの磁性材料を用いることができるので、ヒステリシスの影響がほとんどなく、像点I1 の位置の再現性を著しく向上させることができる。

請求項（抜粋）：

電子銃からの電子ビームをコンデンサレンズで集束し、対物レンズ絞りを通過させ、開き角制御レンズで集束し、対物レンズで試料上に細く集束するように構成した走査電子顕微鏡において、開き角制御レンズの像点を、対物レンズの下方、または無限遠、または開き角制御レンズの上方に位置させることを特徴とする走査電子顕微鏡。

IPC (2件)：

H01J 37/141 , H01J 37/28

FI (3件)：

H01J 37/141 Z , H01J 37/141 A , H01J 37/28 Z

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平1-159943
特公昭49-036769
特開昭61-004142

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