特許

J-GLOBAL ID：200903044684810564

磁気抵抗効果膜および磁気抵抗効果型ヘッド

発明者： 佐野 正志 ,  土屋 芳弘 ,  荒木 悟
出願人/特許権者： ティーディーケイ株式会社
代理人 (1件)： 皿田 秀夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-223652
公開番号（公開出願番号）：特開平11-328625
出願日： 1998年07月23日
公開日（公表日）： 1999年11月30日
要約：

【要約】【課題】 反強磁性層の規則化温度を低下せしめ、スピンバルブ膜特性(例えば、MR変化率(MR Ratio))に悪影響を及ばさないようできるだけ低い熱処理温度(例えば250°C以下)で、交換結合を生じさせることができる磁気抵抗効果膜および磁気抵抗効果型ヘッドを提供する。【解決手段】 スピンバルブ型の磁気抵抗効果膜において、反強磁性層の強磁性層と接する面と反対側の面に反強磁性化プロモ-ト層を形成し、前記反強磁性層は、CuAu-I型の規則結晶構造をもつMn含有化合物からなり、当該反強磁性層は、前記強磁性層との交換結合を生じさせるために、熱処理操作を必要とする特性を有し、かつ、当該熱処理操作後の前記反強磁性層は、(111)結晶配向面に配向されており、前記反強磁性層の(111)結晶配向面内の格子定数Laに対する、前記反強磁性化プロモ-ト層の最密面内の格子定数Lpの比Lp/Laが、0.9〜1.1の範囲内にあるように構成する。

請求項（抜粋）：

非磁性金属層と、非磁性金属層の一方の面に形成された強磁性層と、非磁性金属層の他方の面に形成された軟磁性層と、前記強磁性層の磁化の向きをピン止めするために、強磁性層の非磁性金属層と接する面と反対側の面に形成された反強磁性層と、反強磁性層の強磁性層と接する面と反対側の面に形成された反強磁性化プロモ-ト層と、を有する多層膜を備えてなるスピンバルブ型の磁気抵抗効果膜であって、前記反強磁性層は、CuAu-I型の規則結晶構造をもつMn含有化合物からなり、当該反強磁性層は、前記強磁性層との交換結合を生じさせるために、熱処理操作を必要とする特性を有し、かつ、当該熱処理操作後の前記反強磁性層は、(111)結晶配向面に配向されており、前記反強磁性層の(111)結晶配向面内の格子定数Laに対する、前記反強磁性化プロモ-ト層の最密面内の格子定数Lpの比Lp/Laが、0.9〜1.1の範囲内にあることを特徴とする磁気抵抗効果膜。