特許
J-GLOBAL ID：200903044692741288
インクジェットプリントヘッド及びサーマルインクジェットプリントヘッドの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中島 淳 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-324463
公開番号（公開出願番号）：特開平7-205426
出願日： 1994年12月27日
公開日（公表日）： 1995年08月08日
要約：
【要約】【目的】 インクジェットプリントヘッドの小滴の速度及び方向性を改良する。【構成】 プリントヘッド10は、上部基体31、下部基体28を含む。上部基体31は異方性エッチングされたインクチャネル20を含み、下部基体28は、加熱素子34及びアドレッシング回路33を含む。各チャネル20が1つの加熱素子34を有するようにウェーハを整合させ且つ接着する。ウェーハの整合の前に、各加熱素子34を露呈するように、端子32、37を電気的接続のために露出するように、そしてインクが流れるようにチャネル20と貯蔵部24とを相互に連通させるために長尺状凹所38を設けるように、厚膜層18を付着及びパターン形成する。ダイシングによりチャネルの頂部40より低い所でチャネルの一端を切断し、チャネルより小さい断面面積を有する台形形状ノズルを得る。ノズルの面積を減少することで小滴の量は約5%減少するが小滴の速度が25%〜30%増大し、小滴の方向性が向上する。
請求項（抜粋）：
インクジェットプリンタで使用するインクジェットプリントヘッドであって、少なくとも1つのエッジと1つの表面を有するシリコンの上部基体を有し、前記上部基体が基体表面に対して一つの角度で{111}結晶面を有し、前記基体表面は中に側壁及び対向する端壁を有する異方性エッチングされた平行なV形状の複数の溝を有し、異方性エッチングされて貫通された凹所は凹所壁及び開口した底部を有し、前記溝の壁及び前記凹所の壁が、上部基体の{111}結晶面に従い、各V形状溝の対向する溝端壁の一方が、閉鎖しているとともに凹所に隣接し、前記溝端壁の他方が、台形形状の開口部を生成するように、前記上部基体のエッジを通って部分的に開口され、その結果、溝の部分的に開口された端壁が、V形状の溝の断面面積より小さな断面面積を有し、一面に、加熱素子とデジタルデータ信号を表す電流パルスのソースへの電気的接続を行う対応するアドレッシング回路とのアレイを有する下部基体を有し、加熱素子とアドレッシング回路とを有する下部基体上に付着される厚膜の電気絶縁層を有し、前記絶縁層は、加熱素子及び電極端子上で、そして所定のサイズを有するように所定の位置で除去されるようにパターン形成され、前記上部及び下部基体の表面は、前記厚膜の層を挟み、中に各溝が台形形状の開口部から所定の距離を置いた所に加熱素子を有するように整合され、組み合わされ、そして接合され、その結果、上部基体にそれを貫通してエッチングされた凹所が供給用インク貯蔵部として作用し、台形形状の開口部が小滴を発射するノズルとして作用し、厚膜層と接するV形状溝がそれにより閉鎖されて、所定位置に厚膜除去を介して、貯蔵部をノズルに連結させる毛管現象で充満したインクチャネルを形成し、それによって、V溝チャネルの断面面積に対して断面面積を減少された台形形状ノズルが、小滴の速度を増大し、その結果小滴の方向性が向上される、ことを含むインクジェットプリントヘッド。
IPC (3件)：
B41J 2/05
, B41J 2/16
, B41J 2/135
B41J 3/04 103 B
, B41J 3/04 103 H
, B41J 3/04 103 N
