特許

J-GLOBAL ID：200903044694250125

光学球面曲率半径測定装置

発明者： 植木 伸明
出願人/特許権者： 富士写真光機株式会社
代理人 (1件)： 川野 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-044154
公開番号（公開出願番号）：特開2001-235317
出願日： 2000年02月22日
公開日（公表日）： 2001年08月31日
要約：

【要約】【目的】 光源に波長可変レーザを用いて平面の段差測定を行う手法にヒントを得、キャッツアイの技術を応用することで、サブミクロンオーダーの精度で、しかもコンパクトかつ構成簡易な装置構成により光学球面の曲率半径を測定する。【構成】 波長可変レーザ光源1と、ハーフプリズム20と、コリメータレンズ6と、レーザ光が基準レンズ部5の第1基準レンズ5Fの基準面5a(凹状の球面)から垂直射出されるように、レーザ光を基準面5aに略垂直に入射せしめる第2基準レンズ5Rと、第2基準レンズ5Rの焦点位置に反射平面を有する反射体7と、この反射平面で正反射されたレーザ光LAと、このレーザ光LAが、基準面5aに垂直に再入射する位置5bにおいて反射された光源1からのレーザ光LBとの間で生じた光干渉の強度を検出する光強度検出手段9と、光強度変化の周波数nをフーリエ変換により計測するフーリエ変換手段10と、この周波数nに基づいて基準面5aの曲率半径Rを求める曲率半径算出手段11から構成されている。

請求項（抜粋）：

被検体の凹状の光学球面の曲率半径を測定する装置において、出力光の波長を時間的に変化させ得る光源と、該光源からの光ビームのうち一部の光が前記光学球面で垂直に反射されるとともに、その余の光が前記光学球面から垂直に射出されるように、光軸に沿って入射した該光ビームを該被検体に所定の角度で入射せしめる収束レンズと、前記収束レンズと前記被検体とからなる光学系の焦点位置に、該光学系の光軸に対して垂直に配置された反射面と、前記光学球面で垂直に反射された光と、前記反射面で反射され、前記光学球面に垂直に再入射した光との間で生じた光干渉の強度変化を検出する光強度検出手段と、この光強度検出手段により検出された光強度変化の周波数nを計測するフーリエ変換手段と、計測された光強度変化の周波数n、前記出力光の基準波長λおよびこの波長の変化幅Δλに基づいて前記光学球面の曲率半径Rを求める曲率半径算出手段とを備えたことを特徴とする光学球面曲率半径測定装置。

IPC (4件)：

G01B 11/255 ,  G01B 9/02 ,  G01B 11/24 ,  G01M 11/00

FI (4件)：

G01B 9/02 ,  G01M 11/00 L ,  G01B 11/24 M ,  G01B 11/24 D

Fターム (29件)：

2F064AA09 ,  2F064BB04 ,  2F064CC04 ,  2F064DD08 ,  2F064EE09 ,  2F064FF02 ,  2F064FF08 ,  2F064GG02 ,  2F064GG22 ,  2F064HH03 ,  2F064HH05 ,  2F064HH08 ,  2F064JJ01 ,  2F064JJ15 ,  2F065AA46 ,  2F065BB22 ,  2F065CC22 ,  2F065DD03 ,  2F065FF51 ,  2F065GG06 ,  2F065GG25 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL02 ,  2F065LL46 ,  2F065QQ16 ,  2F065QQ28 ,  2G086FF03