特許

J-GLOBAL ID：200903044698731780

ベローズダンパー付きフイルター装置及びそれを用いた半導体ウエハ用薬液循環処理装置

発明者： 西片 安勝 ,  川島 勉
出願人/特許権者： 日曹エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 山本 秀樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-222204
公開番号（公開出願番号）：特開2001-046815
出願日： 1999年08月05日
公開日（公表日）： 2001年02月20日
要約：

【要約】【課題】パルス伸縮能、耐蝕性等の点で構造的に優れていると同時に、薬液中に溶け込むガスによる悪影響も受けないベローズダンパー付きフィルター装置及びそれを用いた半導体ウエハ用薬液循環処理装置を実現する。【解決手段】 薬液をポンプにより配管移送する過程で、該薬液をハウジング2内に導入し、ハウジング2に内蔵されたフィルターエレメント3により薬液中の不純物を濾過しハウジング2外へ排出するものであって、ハウジング2は、フッ素系樹脂により蛇腹状に形成されたベローズ4を内蔵していると共に、ベローズ4が配管28を介し外部の圧縮気体源23よりベローズ4内に導入される気体の圧力を利用して長さ方向に伸縮されるよう構成した。

請求項（抜粋）：

薬液をポンプにより配管移送する過程で、該薬液をハウジング内に導入し、ハウジングに内蔵されたフィルターエレメントにより薬液中の不純物を濾過してハウジング外へ排出するものであって、前記ハウジングがフッ素系樹脂により蛇腹状に形成されたベローズを内蔵していると共に、該ベローズが配管を介し外部の圧縮気体源よりベローズ内に導入される気体の圧力を利用して長さ方向に伸縮される、ことを特徴とするベローズダンパー付きフィルター装置。

IPC (5件)：

B01D 35/02 ,  B01D 29/00 ,  B01D 35/30 ,  H01L 21/304 648 ,  H01L 21/306

FI (5件)：

B01D 35/02 Z ,  B01D 29/00 Z ,  B01D 35/30 ,  H01L 21/304 648 K ,  H01L 21/306 J

Fターム (6件)：

4D064AA31 ,  4D064CD00 ,  5F043DD30 ,  5F043EE16 ,  5F043EE25 ,  5F043EE40

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-342880
  
• 処理液循環システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-193070   出願人：東邦化成株式会社
• 特開平4-342880