ポリベンゾオキサゾール前駆体、感光性樹脂組成物及び電子部品

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-172884
公開番号（公開出願番号）：特開2004-018593
出願日： 2002年06月13日
公開日（公表日）： 2004年01月22日
要約：

【課題】ポリベンゾオキサゾール前駆体における良好なi線透過性とポリベンゾオキサゾール化後の低い比誘電率及び高耐熱性を有するポリベンゾオキサゾール前駆体、これを用いた感光性樹脂組成物及びこれを用いた電子部品を提供する。【解決手段】一般式(1) (式中、Xは2価の有機基であり、Yは4価の有機基であり、XとYの両方または一方はアダマンタン構造を主鎖に有する)で表される繰り返し単位を有するポリベンゾオキサゾール前駆体、これを用いた感光性樹脂組成物及びこれを用いた電子部品。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

一般式(1)

IPC (8件)：

C08G73/22 , C08J5/18 , G03F7/004 , G03F7/037 , H01B3/30 , H01L21/027 , H01L21/312 , H01L21/768

FI (8件)：

C08G73/22 , C08J5/18 , G03F7/004 503A , G03F7/037 , H01B3/30 H , H01L21/312 A , H01L21/30 502R , H01L21/90 S

Fターム (103件)：

2H025AA10 , 2H025AA13 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025CB26 , 2H025CB45 , 4F071AA60 , 4F071AE22 , 4F071AF30Y , 4F071AF40Y , 4F071AG05 , 4F071AH12 , 4F071BA02 , 4F071BB02 , 4F071BC02 , 4J043PA02 , 4J043PA04 , 4J043PA19 , 4J043QB34 , 4J043RA52 , 4J043SA06 , 4J043SA71 , 4J043SB01 , 4J043TA12 , 4J043TA42 , 4J043TA45 , 4J043TA47 , 4J043TA66 , 4J043TA67 , 4J043TB01 , 4J043UA022 , 4J043UA032 , 4J043UA041 , 4J043UA042 , 4J043UA052 , 4J043UA081 , 4J043UA082 , 4J043UA122 , 4J043UA131 , 4J043UA132 , 4J043UA262 , 4J043UB021 , 4J043UB022 , 4J043UB061 , 4J043UB121 , 4J043UB122 , 4J043UB151 , 4J043UB152 , 4J043UB161 , 4J043UB162 , 4J043UB301 , 4J043UB302 , 4J043UB312 , 4J043UB401 , 4J043UB402 , 4J043VA021 , 4J043VA022 , 4J043VA031 , 4J043VA042 , 4J043VA061 , 4J043VA062 , 4J043VA082 , 4J043XA13 , 4J043XB26 , 4J043XB28 , 4J043YA06 , 4J043ZA12 , 4J043ZA42 , 4J043ZA52 , 4J043ZB11 , 4J043ZB50 , 5F033QQ09 , 5F033QQ11 , 5F033QQ37 , 5F033QQ74 , 5F033RR04 , 5F033RR21 , 5F033RR22 , 5F033SS22 , 5F033WW02 , 5F033WW09 , 5F033XX19 , 5F033XX24 , 5F058AA01 , 5F058AA10 , 5F058AB07 , 5F058AC02 , 5F058AC07 , 5F058AF04 , 5F058AH02 , 5F058AH03 , 5G305AA06 , 5G305AA07 , 5G305AA11 , 5G305AB10 , 5G305AB24 , 5G305AB40 , 5G305CA00 , 5G305CA28 , 5G305CD20

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