特許
J-GLOBAL ID:200903044704975654
半導体レーザとその製法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
中村 純之助
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-092338
公開番号(公開出願番号):特開平5-090694
出願日: 1991年04月23日
公開日(公表日): 1993年04月09日
要約:
【要約】【目的】劈開によらず、エッチングにより垂直・平滑な端面ミラーを得て、発振閾値が小さく集積化が容易な半導体レーザを得るのを目的とする。【構成】{111}面に垂直な面方位を有する(1-10)p-InP基板1上に、<-1-11>方向に沿って導波路ストライプを形成し、エッチングにより導波路両端に{111}面の端面ミラー9a、9bを形成する。
請求項(抜粋):
一対の端面ミラーで光共振器を構成する半導体レーザにおいて、上記一対の端面ミラーが{111}結晶面であることを特徴とする半導体レーザ。
引用特許:
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