ワーク移送機構

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-088210
公開番号（公開出願番号）：特開平6-132377
出願日： 1992年03月13日
公開日（公表日）： 1994年05月13日
要約：

【要約】 (修正有)【構成】回転軸1の上端へ固定した半導体ウエハWに加工を施す定盤2と、バキューム吸着機構を備えたチャック3と、チャック3を回転自在に且つ昇降自在に保持するアーム4と、アーム4を旋回可能に担持して立設する基軸5と、半転軸6を備えたターンテーブル7と、半転軸6の中心点6aから加工前載置台8の中心点8aと加工後載置台9の中心点9aとを当間隔に配設し、基軸5の回動によって旋回するチャック3の中心点3aの旋回軌道の直下に半転停止時に加工前載置台8又は加工後載置台9の何れかの一方の中心点8a(9a)が配設されているものであり、基軸5の回動とチャック3の昇降によって半導体ウエハWの着脱が可能である。【効果】装置が単純化され部品点数が削減されることによって装置そのものの加工精度が向上し、高精度の加工精度を安定して維持できる。

請求項（抜粋）：

立設した回転軸の上端へ上面を水平保持させて固定した半導体ウエハ等のワークに加工を施す定盤と、該定盤と略平行状態で担持されたバキューム吸着機構を備えたチャックと、該チャックを回転自在に且つ昇降自在に保持するアームと、該アームを水平方向に旋回可能に担持し且つ前記回転軸と平行して立設する基軸とから成る研磨盤等ののワークを移送する機構であって、前記定盤の近傍に並設され半回転する半転軸を備えたターンテーブルと、該ターンテーブルの半転軸の中心点から加工前載置台の中心点と加工後載置台の中心点とを夫々当間隔に配設し、前記基軸の回動によって旋回する前記チャックの中心点の旋回軌道の直下にターンテーブルの半転停止時に加工前載置台又は加工後載置台の何れかの一方の中心点が配設されていることを特徴とするワーク移送機構。

IPC (8件)：

H01L 21/68 , B23Q 7/02 , B23Q 7/04 , B65G 47/80 , B65G 47/91 , B65G 49/07 , B65H 5/14 , H01L 21/304 321

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