特許
J-GLOBAL ID：200903044711998759
静電気の除去方法およびその装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-018749
公開番号（公開出願番号）：特開平6-231897
出願日： 1993年02月05日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：
【要約】【構成】本発明は、大気圧近傍において、少なくとも不活性ガスを含むガスを流し、グロー放電発生用電極に高周波電圧を印加してグロー放電を発生させ、そのグロー放電により生成される電子あるいはイオンを含むガス流を被処理物表面に照射することで被処理物表面の静電気を除去する。【効果】アーク放電、コロナ放電を用いた静電気除去方法に比べ、短時間でかつ完全に除電が可能となり、そのため被処理物表面へのゴミの付着がすくなくなるばかりか被処理物の酸化を防げる。
請求項（抜粋）：
大気圧、あるいはその近傍圧力下において、少なくとも不活性ガスを含む雰囲気中にてグロー放電を生じさせ、前記グロー放電により生成された電子あるいはイオンを被処理物表面に照射して、前記被処理物上のチャージをニュートライズすることを特徴とする静電気の除去方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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