特許
J-GLOBAL ID：200903044715521531
電子線縮小転写装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-354683
公開番号（公開出願番号）：特開平5-175113
出願日： 1991年12月19日
公開日（公表日）： 1993年07月13日
要約：
【要約】【目的】 歪を許容範囲内に収めた上で縮小倍率の調整範囲を広くする。【構成】 投影レンズ10には電流と巻数との積の大きい主コイル11と電流と巻数との積の小さい副コイル12とを巻回し、対物レンズ14にも電流と巻数との積の大きい主コイル15と電流と巻数との積の小さい副コイル16とを巻回する。主コイル11及び主コイル15はシリーズに接続して同一の電源から電流を供給し、副コイル12と副コイル16とに流す電流を調整することにより縮小倍率を調整する。
請求項（抜粋）：
電子線源から放出される電子線を照明レンズ系を介して電子線透過マスクに照射し、該電子線透過マスクを透過した電子線を2個の縮小レンズ系を介してターゲット上に導く電子線縮小転写装置において、前記2個の縮小レンズ系の電流比を変えることにより前記2個の縮小レンズ系による縮小倍率を調整するようにした事を特徴とする電子線縮小転写装置。
FI (2件)：
H01L 21/30 341 S
, H01L 21/30 341 V
