特許

J-GLOBAL ID：200903044722014947

基板の受け渡し方法、及び該方法を使用する露光装置

発明者： 西 健爾
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-018919
公開番号（公開出願番号）：特開平11-219999
出願日： 1998年01月30日
公開日（公表日）： 1999年08月10日
要約：

【要約】【課題】 露光装置のウエハステージを小型化すると共に、そのステージ上にウエハを載置する際の位置決め精度を向上させる。【解決手段】 ウエハロードアーム28で露光対象のウエハWを上から抱えるように保持した状態で、照明系支持部45をウエハWの底面に挿入して、撮像装置26L〜26Uによって順次ウエハWの外周の位置を検出し、この検出結果を処理してウエハWの中心の位置ずれ量、及び回転誤差を求める。回転上下部25を介してその回転誤差を補正した後、回転上下部25の中心(ローディング位置)にウエハホルダ21の中心が合致するようにウエハステージ22を移動して、ウエハロードアーム28を降下させてウエハホルダ21上にウエハWを載置する。その後、ウエハステージ22を元の位置の方向に移動することによって、ウエハWからウエハロードアーム28を引き抜く。

請求項（抜粋）：

基板ステージによって位置決め、又は移動される基板上にマスクのパターンを転写する露光装置の前記基板ステージとの間で前記基板の受け渡しを行う基板の受け渡し方法において、前記基板を保持して該基板を昇降させる搬入用アームを備え、該搬入用アームに前記基板を保持した状態で、該基板の位置を外形基準で、又は所定の位置合わせ用マークを基準として検出し、該検出結果に基づいて前記基板ステージを前記基板を受ける位置まで移動した状態で、前記搬入用アームを降下させて前記基板を前記基板ステージ上に載置した後に、前記搬入用アームを前記基板から外すことを特徴とする基板の受け渡し方法。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

H01L 21/68 A ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 514 D