特許

J-GLOBAL ID：200903044733817030

カソードレンズ

発明者： 嘉 藤 誠
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-083188
公開番号（公開出願番号）：特開2000-277049
出願日： 1999年03月26日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：

【要約】【課題】 試料の種類や表面の状態、要求されるエネルギー分解能に応じて、もっとも収差を小さくするように試料面上の電場強度を調整できるカソードレンズを提供すること。【解決手段】 上側電極14には-Vsの電位が与えられ、上側電極14と陽極11間の電位差によって試料面上に電場E<SB>1</SB>が作られる。下側電極13には-aVs(0<a<1)の電位が与えられ、上側電極14と下側電極13間の電位差によって試料面上に電場E<SB>2</SB>が作られる。この電場E<SB>2</SB>は、電場E<SB>1</SB>と向きが逆の電場である。図5は、下側電極13の電位を調整して、試料面上の光軸上の電場を厳密に0にした場合の等電位面の分布を示したものであるが、電場が0になっているのは試料面上の光軸上の1点のみであり、電子が試料を離れると同時に電場強度が立ち上がっており、理想的な状況が作られている。

請求項（抜粋）：

第1電極と、第2電極と、第1電極と第2電極間に配置された第3電極を備えたカソードレンズであり、前記第3電極と第1電極間の電位差によって第3電極と第2電極間に電場を作り、該電場と向きが逆の電場を、前記第3電極と第2電極間の電位差によって第3電極と第2電極間に作ることを特徴とするカソードレンズ。

引用特許：

審査官引用 (1件)

• カソードレンズ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-172333   出願人：日本電子株式会社