特許
J-GLOBAL ID：200903044736505854
気相法ダイヤモンドの合成法及び合成装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
寺田 實
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-208021
公開番号（公開出願番号）：特開平7-061896
出願日： 1993年08月23日
公開日（公表日）： 1995年03月07日
要約：
【要約】【目的】 気相法ダイヤモンドの高速かつ均一な析出を目的とする。【構成】 熱フィラメントの一部又は全てを炭化したタンタルフィラメントを励起源として高速に原料ガスを接触させる。
請求項（抜粋）：
熱フィラメントを励起手段として用いる気相法ダイヤモンドの合成法において、フィラメントとしてその一部又は全てを炭化したタンタルフィラメントを励起源とし、ダイヤモンド合成用、原料気体を流速1m/sec以上で接触させる事を特徴とする気相法ダイヤモンドの合成法。
IPC (3件)：
C30B 29/04
, C23C 16/26
, H01L 21/205
