特許

J-GLOBAL ID：200903044739229181

露光用マスク基板及びそれを用いる露光装置

発明者： 太田 稔也
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 平木 祐輔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-267990
公開番号（公開出願番号）：特開2001-092110
出願日： 1999年09月22日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
要約：

【要約】【課題】 機構上の制約を受けることなくマスクに形成したバーコードパターンを正確に読み取る。【解決手段】 露光用マスク基板11のバーコードパターン15上に直接、白色のシートなどの被覆材16を設ける。

請求項（抜粋）：

露光パターンと、識別用のバーコードパターンとを備える露光用マスク基板において、前記バーコードパターン上に被覆材を設けたことを特徴とする露光用マスク基板。

IPC (3件)：

G03F 1/08 ,  G03F 7/22 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 1/08 R ,  G03F 7/22 H ,  H01L 21/30 515 F

Fターム (5件)：

2H095BA02 ,  2H095BE04 ,  5F046BA04 ,  5F046DC04 ,  5F046DD03