特許
J-GLOBAL ID：200903044740718692
静電シヤツターを有する飛行時間型質量分析装置と分析方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
矢葺 知之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-223919
公開番号（公開出願番号）：特開平5-062643
出願日： 1991年09月04日
公開日（公表日）： 1993年03月12日
要約：
【要約】【目的】 従来の飛行時間型質量分析装置がもっていた次の欠点を改善する装置とその分析方法を提供する。?@パルスイオン源に限られ、深さ方向分析に時間がかかる。?A検出器の飽和が起こり、マススペクトルが歪み、?A後段イオン化SNMSにおいて、後段イオン化されたイオンにスパッターイオンが混入して、精度・感度が劣化する。【構成】 飛行時間型質量分析装置に、引出し電極と分析計との間に静電シャッターを設置するとともに、静電シャッターの作動時期を分析計の測定開始時期あるいはイオン生成時期に同期させる制御回路を設置する。これによりイオン検出する時期を任意に選択でき、必要なタイミングだけあるいは質量スペクトル範囲だけを選別して測定することができる。
請求項（抜粋）：
試料構成粒子をイオン化するイオン発生部と該イオン発生部からのイオンを分析する飛行時間型質量分析計と該イオン発生部と該分析計との間に置かれイオンを加速しつつ分析計に取入れる引出し電極を備えた質量分析装置において、前記引出し電極と前記分析計との間に静電シャッターを設置したことと、該静電シャッターの作動時期に前記分析計の測定開始時期を同期させる制御回路を設置したことを特徴とする質量分析装置。
IPC (2件)：
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