分極反転作製方法及びその装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-077911
公開番号（公開出願番号）：特開平9-269517
出願日： 1996年03月29日
公開日（公表日）： 1997年10月14日
要約：

【要約】【課題】大口径基板に適して、製造コストが低減できた分極反転作製方法及びその装置を提供すること。【解決手段】2領域以上に分割パターン化された周期状電極3を一方主面上に、他方電極4を他方主面上に形成してなる単分域化された強誘電体材料基板2を配し、一方電極3と対面する部位に、分割パターン化された各領域とほぼ同じ面積を有する一方導電板5を設け、他方電極4上に他方導電板7を設け、一方導電板5と他方導電板7との間に、各領域ごとに電圧を順次印加する電圧印加手段Sを具備してなる分極反転作製装置1。

請求項（抜粋）：

単分域化された強誘電体基板の一主面側に複数領域の周期状電極を、他主面側に共通電極をそれぞれ配設した後に、各周期状電極と共通電極との間に電圧を印加することによって、前記強誘電体基板に複数領域の分極反転構造を形成するようにしたことを特徴とする分極反転作製方法。

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