特許

J-GLOBAL ID：200903044750741820

直交型ガスレーザ装置

発明者： 西田 聡 ,  杉原 和郎
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 宮田 金雄 (外1名)
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP1999004127
公開番号（公開出願番号）：WO2001-009994
出願日： 1999年07月30日
公開日（公表日）： 2001年02月08日
要約：

【要約】共振器(12)の一端に配置された1個の部分反射鏡(19)及び2個の全反射鏡(21、23)と、共振器(12)の他端に配置された3個の全反射鏡(20、22、24)とを備え、共振器(12)の各端に3個配置された反射鏡(19、21及び23並びに20、22及び24)におけるレーザ光の中心が三角形をなすように反射鏡(19、21及び23並びに20、22及び24)を配置する。また、レーザ媒質(10)が流れる方向の放電領域の下流端に、共振器(12)の各端に3個配置された反射鏡(19、21及び23並びに20、22及び24)の中の2個(19及び21並びに20及び22)を配置する。

請求項（抜粋）：

1個の部分反射鏡及び複数の全反射鏡からなる共振器を内蔵するレーザ発振器を備える直交型ガスレーザ装置において、 少なくとも5個の全反射鏡を備えることを特徴とする直交型ガスレーザ装置。

IPC (2件)：

H01S 3/081 ,  H01S 3/0971

FI (2件)：

H01S 3/081 ,  H01S 3/097 B