特許
J-GLOBAL ID:200903044752389376

光スイッチ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 大塚 学
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-351484
公開番号(公開出願番号):特開2000-180743
出願日: 1998年12月10日
公開日(公表日): 2000年06月30日
要約:
【要約】【課題】超小型でアレイ状に集積化が容易であり、低偏波依存性,低挿入損失,低ストローク,大消光比特性を有し、かつ安価な光スイッチを提供する。【解決手段】平面基板と、平面基板上に丁番により取付けられた可動平面鏡と、可動平面鏡を平面基板に垂直になる姿勢まで引き起こしまた押し倒しこれらの各姿勢を保持するための可動鏡駆動及び保持機構と、平面基板に垂直になる姿勢まで引き起こされた状態の可動平面鏡の側縁の一端部を挟持するために平面基板上に取付けられた可動保持板を引き起こしまた平面基板に沿うように押し倒しこれらの各姿勢を保持するための可動保持板駆動及び保持機構とを備え、可動鏡が引き起こされた状態にあるかまたは押し倒された状態にあるかに従って、可動平面鏡に入射する入力光の光路が切替えられるように構成されている。
請求項(抜粋):
平面基板と、幅は高々1mm,長さは高々1mm,厚さは高々5μmの寸法を有し、一端側の縁が第一の丁番により、該第一の丁番の回転軸を回転中心として回転可能なるように、前記平面基板上に取付けられた可動平面鏡と、該可動平面鏡を、前記第一の丁番を回転中心として、前記平面基板に垂直になる姿勢まで引き起こす可動鏡引き起こし用アクチュエータと前記平面基板に沿うように押し倒す可動鏡押し倒し用アクチュエータとを用いる可動鏡駆動力伝達機構と、前記平面基板に垂直になる姿勢まで引き起こされた状態の前記可動平面鏡の側縁の一端部を挟持するための切り込みスリットを一端側に有し、前記可動平面鏡が前記平面基板に垂直になる姿勢まで引き起こされた状態にあるときに前記切り込みスリットが前記可動平面鏡の側縁の一端部を挟持する位置に配置されるように、他端側が第二の丁番により、該第二の丁番の回転軸を回転中心として回転可能なるように、前記平面基板上に取付けられた可動保持板と、該可動保持板を前記第二の丁番を回転中心として引き起こす可動保持板引き起こし用アクチュエータと前記平面基板に沿うように押し倒す可動保持板押し倒し用アクチュエータとを用いる可動保持板駆動力伝達機構とを備え、前記可動鏡駆動力伝達機能には、前記可動平面鏡が前記平面基板に垂直になる姿勢まで引き起こされた状態および前記平面基板に沿うように押し倒された状態を保持するための第一の保持用アクチュエータが備えられ、該可動保持板駆動力伝達機構には、前記可動平面鏡が前記平面基板に垂直になる姿勢まで引き起こされた状態にあるときに前記可動保持板の前記切り込みスリットが前記可動平面鏡の側縁の一端部を挟持した結合状態を保持するとともに前記可動保持板が前記平面基板に沿うように押し倒された状態を保持するための第二の保持用アクチュエータが備えられ、前記可動平面鏡が前記引き起こされた状態にあるかまたは前記押し倒された状態にあるかに従って、該可動平面鏡に入射する入力光の光路が切替えられるように構成された 光スイッチ。
Fターム (4件):
2H041AA16 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ03

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