特許
J-GLOBAL ID：200903044754560102
液体噴射記録ヘツド、その製造方法、及び同ヘツドを具備した記録装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-286272
公開番号（公開出願番号）：特開平5-124205
出願日： 1991年10月31日
公開日（公表日）： 1993年05月21日
要約：
【要約】【目的】 機械的強度、耐熱性、耐インク安定性に優れる液体噴射記録ヘッドを製造する。【構成】 基板1上に第1感光性材料層3を設け、加熱架橋後、液路7の潜像を形成する。次いで、第2感光性材料層6を積重ねて加熱架橋後、インク供給口9の潜像を形成する。これを現像してヘッドを得るが、上記感光性材料層として分子中にエポキシ基を有し、加熱により重合するポジ型レジストを用いる。
請求項（抜粋）：
インク吐出エネルギー発生素子を設けた基板上に、エポキシ基を有する架橋型の第1ポジ型感光性材料層を形成し、前記第1ポジ型感光性材料層を加熱架橋した後、これに光照射をすることにより加熱架橋した前記第1ポジ型感光性材料層に液路の潜像を形成する第1工程と、潜像を形成した第1ポジ型感光性材料層上に、更にエポキシ基を有する架橋型の第2ポジ型感光性材料層を形成し、形成した前記第2ポジ型感光性材料層を加熱架橋した後、これに光照射をすることにより前記加熱架橋した第2ポジ型感光性材料層に吐出口の潜像を形成する第2工程と、前記潜像を形成した第1、及び第2ポジ型感光性材料層を現像して液路、及び吐出口を形成する工程と、を含むことを特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方法。
IPC (2件)：
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