特許
J-GLOBAL ID:200903044754687692
セラミックスまたは金属の膜もしくは焼結体の製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
矢葺 知之 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-079855
公開番号(公開出願番号):特開平9-268379
出願日: 1996年04月02日
公開日(公表日): 1997年10月14日
要約:
【要約】【課題】 本発明は、表面が平滑なセラミックス・金属等の膜・焼結体を高速で製造し、傾斜組成材においても各部の組織制御を十分に行う方法を提供する。【解決手段】 微粒子をガス流と共に吹き付けるノズル2と高温ガス噴出ノズル4を基板・基材のずれた地点へ向け設置し、これら二つのガス流を実質上交叉させず、基板・基材1上にて微粒子成形体6形成後、高温ガス流5を吹き付け焼結を行い平滑な膜または焼結体7を得る。
請求項(抜粋):
セラミックスまたは金属の膜または焼結体の製造方法において、微粒子噴出ノズルと高温ガス噴出ノズルの二つのノズルを基板または基材等の異なる地点へ向け設置し、微粒子噴出ノズルからセラミックスまたは金属の微粒子をガス流と共に基板または基材の表面へ吹き付け、基板または基材を移動させることにより、高温ガス噴出ノズルからの高温ガスを微粒子付着地点へ吹き付け、かつ、これら二つのノズルから噴出するガス流は実質上異なる二つのガス流を形成させ、基板または基材上へ吹き付けた微粒子を焼結させることを特徴とするセラミックスまたは金属の膜もしくは焼結体の製造方法。
IPC (4件):
C23C 24/08
, B22F 3/00
, B22F 3/10
, B22F 7/04
FI (4件):
C23C 24/08 C
, B22F 3/00 A
, B22F 7/04 A
, B22F 3/10 A
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