特許
J-GLOBAL ID：200903044755297944
基板収納トレイ及びこれを用いた基板梱包体
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-267578
公開番号（公開出願番号）：特開平11-105970
出願日： 1997年09月30日
公開日（公表日）： 1999年04月20日
要約：
【要約】【課題】薄膜磁気ヘッド用基板等を梱包して搬送する際に、基板20に傷や汚れが付着したり、面粗さが変化したりすることを防止し、製造時の面状態や洗浄度を完全に保つことのできる収納トレイ10を提供する。【解決手段】基板20を平面的に収納するための凹部11を有し、該凹部11の内壁側面には段部12を備えるとともに、凹部11の裏面に複数の曲面状突起部13を備えて基板収納トレイ10を構成する。
請求項（抜粋）：
基板を平面的に収納するための凹部を有し、該凹部の内壁側面に段部を備えるとともに、凹部の裏面に複数の曲面状突起部を備えたことを特徴とする基板収納トレイ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B65D 85/38 R
, H01L 21/68 T
