特許
J-GLOBAL ID：200903044755949828
微振動抑制装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柳田 良徳 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-096062
公開番号（公開出願番号）：特開平6-307494
出願日： 1993年04月22日
公開日（公表日）： 1994年11月01日
要約：
【要約】【目的】装置のコストおよび消費エネルギーを低減し、かつ、微振動に対する応答性能を向上させる。【構成】基礎部1内に配設されるテーブル2と、テーブル2の下面4隅と基礎部1との間に配設される空気バネ3と、テーブル2の下面と基礎部1との間で各空気バネ3の間にそれぞれ配設される油圧アクチュエータ4と、テーブル2の側面で各辺に2つづつ配設される油圧アクチュエータ5と、テーブル2の上面に配設される振動センサ6と、振動センサ6で検知された信号により振動を抑制する力を演算し各油圧アクチュエータ4、5に出力する振動制御装置7とを備える。
請求項（抜粋）：
基礎部内に配設されるテーブルと、テーブルの下面4隅と基礎部との間に配設される空気バネと、前記テーブルの下面と基礎部との間で各空気バネの間にそれぞれ配設される油圧アクチュエータと、前記テーブルの側面で各辺に2つづつ配設される油圧アクチュエータと、前記テーブルの上面に配設される振動センサと、該振動センサで検知された信号により振動を抑制する力を演算し前記各油圧アクチュエータに出力する振動制御装置とを備えることを特徴とする微振動抑制装置。
引用特許：
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