特許

J-GLOBAL ID：200903044758340069

共焦点用光スキャナ

発明者： 根岸 秀臣
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 正康
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-052947
公開番号（公開出願番号）：特開平9-243925
出願日： 1996年03月11日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：

【要約】【課題】DM表面での反射光を出来る限り減衰させた後DMへ戻し、観察光への影響を可能な限り少なくすることのできる共焦点用光スキャナを実現する。【解決手段】複数の微小開口が設けられたニポウディスクと、このニポウディスクのピンホールと同じパターンで複数のマイクロレンズが配列され励起光を集束する集光ディスクがハブを介して連結され、前記ニポウディスクと集光ディスクの間にダイクロイックミラーが配置され、ニポウディスクと集光ディスクが一体となって回転できるように構成された共焦点用光スキャナにおいて、前記ハブの側面に、前記ダイクロイックミラーで反射した励起光を再びダイクロイックミラーに戻すように反射するV字状の溝を形成する。

請求項（抜粋）：

複数の微小開口が設けられたニポウディスクと、このニポウディスクのピンホールと同じパターンで複数のマイクロレンズが配列され励起光を集束する集光ディスクがハブを介して連結され、前記ニポウディスクと集光ディスクの間にダイクロイックミラーが配置され、ニポウディスクと集光ディスクが一体となって回転できるように構成された共焦点用光スキャナにおいて、前記ハブは、前記ダイクロイックミラーで反射した励起光を再びダイクロイックミラーに戻すように反射するV字状の溝がその側面に形成されたことを特徴とする共焦点用光スキャナ。