特許

J-GLOBAL ID：200903044766331834

焦電型赤外線撮像素子およびその作製方法

発明者： 二瓶 靖和 ,  原田 明憲
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 柳田 征史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-139595
公開番号（公開出願番号）：特開2002-334977
出願日： 2001年05月10日
公開日（公表日）： 2002年11月22日
要約：

【要約】【課題】 焦電型赤外線撮像素子の画素サイズを小さくする。【解決手段】【請求項1】 単分極化されたLiTaO3結晶基板等からなる焦電体11に、その一表面11bにおいて互いに分離したパターンを示す複数の分極反転部12を形成して、これを上記一表面11bと反対側の表面11aで赤外線2を受光する受光部10とする。そしてこの受光部10の一表面11b側に電荷転送部20を配し、この電荷転送部20と分極反転部12の各々とを接合手段30によって導通させて焦電型赤外線撮像素子1を構成する。

請求項（抜粋）：

単分極化された焦電体に、その一表面において互いに分離したパターンを示す複数の分極反転部が形成されてなり、前記一表面と反対側の表面で赤外線を受光する受光部と、この受光部の前記一表面側に配された電荷転送部と、この電荷転送部と前記複数の分極反転部の各々とを導通させる接合手段とからなる焦電型赤外線撮像素子。

IPC (5件)：

H01L 27/14 ,  G01J 1/02 ,  G01J 1/42 ,  G01J 5/02 ,  H01L 37/02

FI (7件)：

G01J 1/02 Q ,  G01J 1/02 Y ,  G01J 1/42 B ,  G01J 5/02 M ,  G01J 5/02 P ,  H01L 37/02 ,  H01L 27/14 K

Fターム (23件)：

2G065AB02 ,  2G065BA13 ,  2G065BA34 ,  2G065BC02 ,  2G065BE08 ,  2G065CA13 ,  2G065DA18 ,  2G066BA02 ,  2G066BA04 ,  2G066BA55 ,  2G066BB09 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118BA14 ,  4M118BA19 ,  4M118CA16 ,  4M118CA40 ,  4M118CB12 ,  4M118DA01 ,  4M118FA06 ,  4M118GA10 ,  4M118HA31