特許
J-GLOBAL ID:200903044769426623

圧電素子

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 東島 隆治 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-006801
公開番号(公開出願番号):特開平10-209517
出願日: 1997年01月17日
公開日(公表日): 1998年08月07日
要約:
【要約】【課題】 小型で、良好な圧電特性を示す圧電素子を提供する。【解決手段】 厚さが0.05〜100μmの箔状で、主として鉛、チタンおよびジルコニウムを含み、ペロブスカイト構造を有する酸化物からなる圧電体と、圧電体の対向する両面にそれぞれ形成された一対の電極と、一対の電極のうちの一方の電極の表面に形成された厚さが0.05〜500μmの圧電性を示さない被覆層を具備する。
請求項(抜粋):
厚さが0.05〜100μmの薄膜状の圧電体と、前記圧電体の対向する両面にそれぞれ形成された一対の電極と、前記一対の電極のうちの一方の表面に形成された厚さが0.05〜500μmの圧電性を示さない被覆層を具備する圧電素子。
IPC (5件):
H01L 41/09 ,  G01L 1/16 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/187 ,  H02N 2/00
FI (5件):
H01L 41/08 C ,  G01L 1/16 ,  H02N 2/00 B ,  H01L 41/08 Z ,  H01L 41/18 101 D

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