特許
J-GLOBAL ID：200903044769426623
圧電素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
東島 隆治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-006801
公開番号（公開出願番号）：特開平10-209517
出願日： 1997年01月17日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：
【要約】【課題】 小型で、良好な圧電特性を示す圧電素子を提供する。【解決手段】 厚さが0.05〜100μmの箔状で、主として鉛、チタンおよびジルコニウムを含み、ペロブスカイト構造を有する酸化物からなる圧電体と、圧電体の対向する両面にそれぞれ形成された一対の電極と、一対の電極のうちの一方の電極の表面に形成された厚さが0.05〜500μmの圧電性を示さない被覆層を具備する。
請求項（抜粋）：
厚さが0.05〜100μmの薄膜状の圧電体と、前記圧電体の対向する両面にそれぞれ形成された一対の電極と、前記一対の電極のうちの一方の表面に形成された厚さが0.05〜500μmの圧電性を示さない被覆層を具備する圧電素子。
IPC (5件)：
H01L 41/09
, G01L 1/16
, H01L 41/08
, H01L 41/187
, H02N 2/00
H01L 41/08 C
, G01L 1/16
, H02N 2/00 B
, H01L 41/08 Z
, H01L 41/18 101 D
