表面レリーフ型回折格子及びその製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：目次誠 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-181975
公開番号（公開出願番号）：特開平10-026707
出願日： 1996年07月11日
公開日（公表日）： 1998年01月27日
要約：

【要約】【課題】高精度な溝21aの形状を有し、回折効率が高く、かつ低コストで生産することができる表面レリーフ型回折格子及びその製造方法を得る。【解決手段】表面レリーフ型回折格子またはその型40として、少なくとも表面部分が単結晶シリコンから形成され、溝の反射面または屈折面が単結晶シリコンの(111)面から形成されていることを特徴とし、型として用いる場合には、ガラス基板20上のゲル膜21にスタンパー40を押し当て、その溝40aの形状を転写し溝21aを形成することを特徴としている。

請求項（抜粋）：

表面に規則的な溝を形成し、特定波長の光を前記溝の反射面上で反射させて回折する表面レリーフ型回折格子であって、前記回折格子の少なくとも表面部分が単結晶シリコンから形成され、前記溝の反射面が前記単結晶シリコンの(111)面上に形成されていることを特徴とする表面レリーフ型回折格子。

IPC (4件)：

G02B 5/18 , B29C 45/00 , B29D 11/00 , B29L 11:00

FI (3件)：

G02B 5/18 , B29C 45/00 , B29D 11/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭55-015133
特開昭55-134806
特開昭58-091407

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