特許
J-GLOBAL ID：200903044773217249
フラットパネル表示装置の製造方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-009444
公開番号（公開出願番号）：特開平8-203804
出願日： 1995年01月25日
公開日（公表日）： 1996年08月09日
要約：
【要約】【目的】 特性を劣化させることなくフォトレジストの再利用を行う。【構成】 基板の主表面にレジスト溶液を滴下する工程と、前記工程に並行して行われる工程であって、基板に付着しない残余のレジスト溶液を回収する工程と、この回収したレジスト溶液の粘度を調整するとともに異物を除去する工程と、この溶液を前記レジスト溶液を滴下する工程に送り返す工程とからなる。
請求項（抜粋）：
基板の主表面にレジスト溶液を滴下する工程と、前記工程に並行して行われる工程であって、基板に付着しない残余のレジスト溶液を回収する工程と、この回収したレジスト溶液の粘度を調整するとともに異物を除去する工程と、この溶液を前記レジスト溶液を滴下する工程に送り返す工程とからなるフラットパネル表示装置の製造方法。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/16 502
