特許
J-GLOBAL ID：200903044776695362

水晶振動子の製造方法

発明者：
木崎 茂

木崎 茂 について


出願人/特許権者：
ヘルツ株式会社

ヘルツ株式会社 について


代理人 (1件)： 笹山 善美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-156487
公開番号（公開出願番号）：特開2003-318685
出願日： 2002年04月22日
公開日（公表日）： 2003年11月07日
要約：
【要約】【課題】フォトリソグラフィー技術と化学エッチング技術を用いて作られる音叉型水晶振動子の周波数調整方法において、調整時に発生する金属屑による特性への悪影響や電極間の短絡をなくす。【解決手段】フォトリソグラフィー技術と化学エッチング技術により、水晶ウエハー内に作られた複数個の水晶片の腕部に設けられた粗調整用金属膜を除去して、該音叉型水晶片の周波数粗調整を行なう工程と、前記音叉型水晶片をパッケージにマウント後、該音叉型水晶片の腕部に設けられた微調整用金属膜を除去して、該音叉型水晶片の周波数微調整を行なう工程とを有する水晶振動子の製造方法において、前記周波数粗調整は、イオンエッチング若しくはレーザーにより行われ、前記周波数微調整は、イオンエッチングにより行われるようにした。
請求項（抜粋）：
フォトリソグラフィー技術と化学エッチング技術により、水晶ウエハー内に作られた複数個の音叉型水晶片の腕部に設けられた粗調整用金属膜を除去して、該音叉型水晶片の周波数粗調整を行う工程と、前記音叉型水晶片をパッケージにマウント後、該音叉型水晶片の腕部に設けられた微調整用金属膜を除去して、該音叉型水晶片の周波数微調整を行う工程とを有する水晶振動子の製造方法において、前記周波数粗調整は、イオンエッチング若しくはレーザーにより行われ、前記周波数微調整は、イオンエッチングにより行われることを特徴とする水晶振動子の製造方法。
Fターム (3件)：
5J108NA03 ,  5J108NB04 ,  5J108NB05
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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