特許
J-GLOBAL ID:200903044777897007

2つの物体の相対的な変位を測定する光電式距離及び角度測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 恩田 博宣
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-507224
公開番号(公開出願番号):特表平10-506719
出願日: 1996年07月25日
公開日(公表日): 1998年06月30日
要約:
【要約】2つの物体の相対的な変位を測定する光電式距離及び角度測定装置は、数式N=n4で表される数量のフォトレシーバー(1)を有し、同フォトレシーバー(1)はフォトレシーバー・マトリックス(2)内に配置され、同配置は複数のフォトレシーバー(1)の対角線(a)がフォトレシーバー・マトリックス(2)の対角線(c)に対して平行に延びるように行われ、同一位相を検出する複数のフォトレシーバー(1)は互いに電気的に接続され、これらの信号は評価回路に入力される。
請求項(抜粋):
2つの物体の相対的な変位を測定する光電式距離及び角度測定装置であって、光源、基準回折格子、スケール回折格子、複数のフォトレシーバーの配列及び評価回路を有する装置において、Nがフォトレシーバー(1)の数量を示し、nが2以上の偶数を示す数式、即ちN=n・4で表される数量のフォトレシーバー(1)はフォトレシーバー・マトリックス(2)内に配置され、同配置はフォトレシーバー(1)の対角線(a)がフォトレシーバー・マトリックス(2)の対角線(c)及び光学縞パターン(4)に対して平行に延びるように行われ、フォトレシーバー・マトリックス(2)の対角線(c)に隣接する同一位相を検出しない複数のフォトレシーバー(1)の対角線(a)は互いに同一距離(b)だけ離間し、前記複数のフォトレシーバー(1)の対角線(a)は重心を形成するポイントを有し、前記同一位相を検出する複数のフォトレシーバー(1)は互いに電気的に接続され、これらの信号は評価回路に入力される装置。
IPC (2件):
G01D 5/38 ,  G01B 11/00
FI (2件):
G01D 5/38 A ,  G01B 11/00 G

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