静電アクチュエータ及び、該アクチュエータを用いたプローブ、走査型プローブ顕微鏡、加工装置、記録再生装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長尾達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-026103
公開番号（公開出願番号）：特開平9-196935
出願日： 1996年01月19日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：

【要約】【課題】本発明は、従来の静電アクチュエータに比較して変位が大きく、制御性が良好で、発生力が大きい静電アクチュエータと、その静電アクチュエータを用いた静電駆動プローブと、その静電駆動プローブを用いた走査型トンネル顕微鏡や原子間力顕微鏡等の走査型プローブ顕微鏡及びそれらを用いた加工装置、記録再生装置を提供することを目的としている。【解決手段】本発明は、上記課題を解決するため、基板上に空隙を介して配置された可動平板と、該可動平板を回転自在に支持する2つのトーションバーと、該可動平板上に設けられている可動電極と、該可動電極に対向して該基板上に設けられている固定電極とを有する静電アクチュエータであって、前記可動電極を前記固定電極に対して、前記可動電極の駆動方向に投影した際に、重なる部分が無いように配置されていることを特徴とする静電アクチュエータと、該アクチュエータを用いたプローブ、走査型プローブ顕微鏡、加工装置、記録再生装置を構成するものである。

請求項（抜粋）：

基板上に空隙を介して配置された可動平板と、該可動平板を回転自在に支持する2つのトーションバーと、該可動平板上に設けられている可動電極と、該可動電極に対向して該基板上に設けられている固定電極とを有する静電アクチュエータであって、前記可動電極を前記固定電極に対して、前記可動電極の駆動方向に投影した際に、重なる部分が無いように配置されていることを特徴とする静電アクチュエータ。

IPC (5件)：

G01N 37/00 , G01B 7/34 , G01N 27/60 , G11B 9/00 , H02N 1/00

FI (6件)：

G01N 37/00 C , G01N 37/00 G , G01B 7/34 Z , G01N 27/60 C , G11B 9/00 , H02N 1/00

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