特許

J-GLOBAL ID：200903044792290178

走査形電子顕微鏡等の視野移動補正装置

発明者： 高橋 忠範
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-079146
公開番号（公開出願番号）：特開2000-277047
出願日： 1999年03月24日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：

【要約】【課題】X線分析装置の出し入れによって発生する観察像の位置ずれや分析位置のずれを低減する。【解決手段】X線分析装置から発生する磁場によって起こる、電子線の位置ずれを補正する手段として、X線分析用検出器と対物レンズと試料間に発生する漏洩磁場量を検出する為の検出機構を設け観察視野の位置ずれやX線分析位置の位置ずれを補正する。

請求項（抜粋）：

検出器の位置を検出し、視野移動の発生に対して、補正する手段として、打ち消し用磁界発生源を設け視野移動を低減することを特徴とする、走査形電子顕微鏡等の視野移動補正装置。

IPC (2件)：

H01J 37/244 ,  H01J 37/252

FI (2件)：

H01J 37/244 ,  H01J 37/252 A

Fターム (6件)：

5C033FF06 ,  5C033NN04 ,  5C033NP03 ,  5C033NP08 ,  5C033PP01 ,  5C033PP04