特許

J-GLOBAL ID：200903044792515692

基板搬送装置

発明者： 水谷 真士
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-152313
公開番号（公開出願番号）：特開平10-000526
出願日： 1996年06月13日
公開日（公表日）： 1998年01月06日
要約：

【要約】【課題】 搬送対象の基板への異物の付着や発塵を生ずることなく受け渡し精度を向上する。【解決手段】 ロードスライダ34でウエハ6を保持した状態でウエハ6を露光装置に対するローディングポジションに移動し、その位置で撮像方式の位置検出装置の観察視野19c〜21cをウエハ6の外周のエッジ上の3箇所に設定しておく。ロードスライダ34の形状を観察視野19c〜21cからの検出光を遮らないように設定しておき、その位置でそれらの位置検出装置によってウエハ6の露光装置に対する受け渡し誤差を検出し、この受け渡し誤差を補正する。ロードスライダ34をウエハ6を上から抱える形状に設定し、ウエハ6の底面側に容易に受け渡し部材を配置できるようにする。

請求項（抜粋）：

感光性の基板を位置決めするための基板ステージを備え、マスクパターンを前記基板ステージに載置された前記基板上に転写する露光装置に対して前記基板を搬送する基板搬送装置において、前記基板を保持する保持部を前記露光装置の前記基板ステージの上方に移動する移動部と、前記基板ステージの上方で前記保持部に保持された前記基板と前記基板ステージとの位置関係を所定の検出光を用いて検出する位置検出手段と、該位置検出手段の検出結果に基づいて前記基板の位置を調整する位置調整手段と、を備え、前記保持部の形状を前記検出光を遮らないように設定したことを特徴とする基板搬送装置。

IPC (4件)：

B23Q 7/00 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (5件)：

B23Q 7/00 M ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/68 A ,  H01L 21/30 502 J ,  H01L 21/30 514 D