特許
J-GLOBAL ID：200903044795698020
アクティブマトリクスアレイ検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-215708
公開番号（公開出願番号）：特開平7-064517
出願日： 1993年08月31日
公開日（公表日）： 1995年03月10日
要約：
【要約】【目的】 信号線がショートバスで短絡されているアクティブマトリクスアレイの欠陥を非接触で正確、容易に検出でき、かつ欠陥検出位置の特定も正確に行なえるアクティブマトリクスアレイ検査装置を提供する。【構成】 データ信号線s1、s2、snのショートバスをアース電位とし、それらの取り出し端子Ps1、Ps2、Psnに信号源OSC1、OSC2、OSCnから周波数の異なる高周波信号を印加する。一方、ゲート信号線g2の直前の段のゲート信号線にバイアス電圧を印加し、薄膜電界効果トランジスタを導通させ、ゲート信号線g2の取り出し端子Pg2より各データ信号線からの出力信号を検出し、増幅器AMPで増幅した後、検出増幅器F1、F2、Fnで各信号源の周波数に対応する周波数の高周波信号をそれぞれ選択し、検波する。これら検波出力を全画素分集計した後、例えばソフトウエア処理でアレイの欠陥を判別する。
請求項（抜粋）：
多数本のゲート信号線と多数本のデータ信号線が互いに絶縁されて行及び列にマトリクス状に直交状態で配線され、これら信号線の各交点において薄膜トランジスタがゲート信号線及びデータ信号線に接続され、各薄膜トランジスタのドレイン又はソース電極が画素電極の一方の端子に接続され、各画素電極の他方の端子が蓄積容量素子を通じて直ぐ次のゲート信号線に接続され、かつ前記ゲート信号線と前記データ信号線が分離されて取り出され、各信号線の取り出し端子が微小抵抗をもってショートバスにそれぞれ接続され、かつ前記ゲート信号線は1本置きに反対側又は同方向へ引き出されて、それぞれ前記ショートバスに前記微小抵抗をもって接続されている形式のアクティブマトリクスアレイの諸欠陥を検査するアクティブマトリクスアレイ検査装置において、所定数のデータ信号線にそれぞれ分離検出可能な異なる周波数の高周波信号を供給し、前記ゲート信号線にバイアス電圧を印加して前記薄膜トランジスタ、前記画素電極及び前記蓄積容量素子を通じて直ぐ次の段のゲート信号線に出力される高周波信号、或いは前記ゲート信号線にバイアス電圧を印加せずに前記データ信号線から前記ゲート信号線にリークする高周波信号を取り出し、周波数選択及び検波して検出信号の状態を検査するようにしたことを特徴とするアクティブマトリクスアレイ検査装置。
IPC (3件)：
G09G 3/36
, G02F 1/13 101
, G02F 1/136 500
