特許
J-GLOBAL ID:200903044798110848

動圧空気軸受型ポリゴンスキャナ

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-207105
公開番号(公開出願番号):特開平11-038346
出願日: 1997年07月16日
公開日(公表日): 1999年02月12日
要約:
【要約】【課題】本発明は動圧空気と磁気力を利用し超高速回転を可能とした高信頼性の小型で安価な動圧空気軸受型ポリゴンスキャナを提供する。【解決手段】動圧空気軸受型ポリゴンスキャナ30は、中空回転軸38の中空部内に固定軸33が挿入され、面対向型モータ52により中空回転軸38が回転されると発生する空気の動圧により固定軸33が中空回転軸38を径方向に支持し、中空回転軸38の上端側のミラー押さえ40に固定され軸方向に着磁された円柱状永久磁石の吸引型磁気軸受回転部43が固定軸33の上端凹部33c内に埋設されたリング状の吸引型磁気軸受固定部34に挿入されたアキシャル軸受により固定軸33が中空回転軸38を軸方向に浮上支持する。吸引型磁気軸受固定部34は軸方向に2極に着磁されたリング状の永久磁石35と永久磁石35を挟んで上下に配設された1対のリング状第1及び第2固定ヨーク板36、37で形成され、第1及び第2固定ヨーク36、37はその中心円が永久磁石35の中心円よりも小さくかつ中空回転軸38の軸中心と一致する状態で形成されている。
請求項(抜粋):
軸方向に中空部を有する中空回転軸にポリゴンミラーの固定された回転体の前記中空回転軸の前記中空部内に固定軸が挿入され、前記中空回転軸の一端側に前記中空部を閉止して所定の空気溜まりを形成する状態で所定の保持部材が取り付けられ、前記回転体がモータにより回転され、前記回転体が前記モータに回転されることにより発生する空気の動圧を前記中空回転軸の内周面と前記固定軸の外周面からなる動圧空気軸受面で受けるラジアル動圧空気軸受と吸引型磁気力を利用したアキシャル軸受により前記回転体を半径方向方向及び軸方向に回転自在に支持する動圧空気軸受型ポリゴンスキャナであって、前記アキシャル軸受は、前記固定軸の前記保持部材側の先端部に固定されたリング状の吸引型磁気軸受固定部と、前記中空回転軸に取り付けられた前記保持部材に固定され前記リング状の吸引型磁気軸受固定部内に挿入された吸引型磁気軸受回転部と、を備え、前記吸引型磁気軸受固定部は、前記軸方向に2極に着磁されたリング状の永久磁石と、前記リング状の永久磁石の内径よりも小さい中心円が形成され強磁性材料からなるリング状の第1固定ヨーク板と、前記リング状の永久磁石の内径よりも小さい中心円が形成され強磁性材料からなるリング状の第2固定ヨーク板と、を備え、前記第1固定ヨーク板と前記第2固定ヨーク板は、前記リング状の永久磁石を前記軸方向に挟むとともに、それぞれの中心円が前記中空回転軸に対して同軸に配置され、前記吸引型磁気軸受回転部は、前記吸引型磁気軸受固定部の前記第1固定ヨーク板及び前記第2固定ヨーク板の内周面との間に所定の磁気ギャップを形成する円形の外周部を備え、前記外周部が前記中空回転軸に対して同軸に配置されていることを特徴とする動圧空気軸受型ポリゴンスキャナ。
IPC (4件):
G02B 26/10 102 ,  F16C 17/02 ,  H02K 21/24 ,  H02K 29/00
FI (4件):
G02B 26/10 102 ,  F16C 17/02 A ,  H02K 21/24 M ,  H02K 29/00 Z
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • 偏向走査装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平7-149595   出願人:キヤノン株式会社
  • 特開昭64-003318
  • 特開昭62-085216
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