角速度センサ及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩橋文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-179707
公開番号（公開出願番号）：特開2002-372421
出願日： 2001年06月14日
公開日（公表日）： 2002年12月26日
要約：

【要約】【課題】片持ち梁型の角速度センサ素子において、梁を固定する支持体が小さいと実装が困難であり、かつ十分な固定条件が得られず振動損失が大きくなるという課題があった。【解決手段】 2枚の圧電基板2、3を貼り合わせた圧電素子1をコの字型に加工し、一方の側の振動子部4の片方の主面に幅方向に分割された2つの電極6a、6bを設け、相対する主面に共通電極7を設け、別の固定用梁部5を固定することにより角速度センサを構成する。

請求項（抜粋）：

圧電素子が、圧電基板と前記圧電基板の相対する面に形成された電極からなる振動子部と、前記圧電基板からなり前記振動子部の一端で連結された梁部とからなり、前記梁部が固定されたことを特徴とする角速度センサ。

IPC (4件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 41/08 , H01L 41/22

FI (4件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 41/08 Z , H01L 41/22 Z

Fターム (8件)：

2F105AA08 , 2F105AA10 , 2F105BB02 , 2F105BB13 , 2F105CC01 , 2F105CD02 , 2F105CD06 , 2F105CD13

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