特許
J-GLOBAL ID:200903044803536778
試料解析装置
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-050293
公開番号(公開出願番号):特開2001-201467
出願日: 2000年01月21日
公開日(公表日): 2001年07月27日
要約:
【要約】【課題】 検出機構が小形、簡略でコンパクトにできる試料解析装置を提供する。【解決手段】 試料1に対してX線を照射するX線銃2と、それぞれの一端側開口部が前記X線銃2からのX線出射点を頂点とし、かつX線照射軸Lを軸芯とする円錐方向に沿って集束され、他端側開口部は前記X線照射軸Lの軸芯上の一点を頂点とし前記X線照射軸Lを軸芯とする円錐方向に沿って集束された多数のX線導波細管3からなり、かつこれらは前記X線照射軸Lを通る平面で二分画され、一方がX線銃2からのX線を前記一端側開口部から入射し他端側開口部に導いて試料1に照射する照射X線用導波細管体3Sを形成し、他方が他端側開口部より試料1からの信号X線を入射し、一端側開口部に導く信号X線用導波細管体3Uを形成するX線導波細管体3Dと、前記信号X線導波細管体3Uから出射される信号X線を検出するX線検出器4とを備え、このX線検出器4からの出力信号にて試料1を解析する。したがって、X線銃2とX線検出器4を同軸上に配置でき、かつ構成を簡略化、小形化ができる。
請求項(抜粋):
試料に対してX線を照射するX線発生器と、それぞれの一端側開口部が前記X線発生器からのX線出射点を頂点とし、かつX線照射軸を軸芯とする円錐方向に沿って集束され、他端側開口部は前記X線照射軸の軸芯上の一点を頂点とし前記X線照射軸を軸芯とする円錐方向に沿って集束された多数のX線導波細管からなり、かつこれらは二分画され、一方がX線発生器からのX線を前記一端側開口部から入射し他端側開口部に導いて試料に照射する照射X線用導波細管体を形成し、他方が前記他端側開口部より試料からの信号X線を入射して一端側開口部に導く信号X線用導波細管体を形成するX線導波細管体と、前記信号X線導波細管体から出射される信号X線を検出するX線検出器とを備え、X線検出器からの出力信号にて試料を解析するようにしたことを特徴とする試料解析装置。
Fターム (10件):
2G001AA01
, 2G001BA04
, 2G001CA01
, 2G001DA02
, 2G001GA01
, 2G001GA13
, 2G001KA01
, 2G001KA04
, 2G001LA02
, 2G001LA03
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