金属層を備えた窒化アルミニウム焼結体の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：恩田博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-000959
公開番号（公開出願番号）：特開平5-183069
出願日： 1992年01月07日
公開日（公表日）： 1993年07月23日
要約：

【要約】【目的】窒化アルミニウム焼結体の表面にて、焼結体と金属層との間に充分な密着強度を確保し得るアンカー効果の高いアンカーを備えた電子回路基板用の窒化アルミニウム焼結体の製造方法を提供する。【構成】焼結助剤を含有した窒化アルミニウム成形体1を焼結させる際に、その表層2aの窒化アルミニウム結晶粒界Bに、主として焼結助剤からなるガラス相3を滲出させる。その後、水酸化ナトリウム処理により、前記表層2a内の窒化アルミニウム結晶粒子Gを溶解除去して、アンカーAを形成する。更にその後、得られた焼結体2の表面に化学銅メッキを施す。

請求項（抜粋）：

酸化物よりなる焼結助剤を含有した窒化アルミニウム成形体(1)を焼結させる際に、その表層(2a)の窒化アルミニウム結晶粒界(B)に、主として焼結助剤からなるガラス相(3)を滲出させた後、前記表層(2a)内の窒化アルミニウム結晶粒子(G)を除去することによりアンカー(A)を形成し、その後、得られた焼結体(2)表面に化学メッキを施すことを特徴とする金属層を備えた窒化アルミニウム焼結体の製造方法。

IPC (7件)：

H01L 23/15 , B22F 1/00 , C04B 41/90 , C23C 18/18 , H01L 23/12 , H05K 3/18 , H05K 3/38

FI (2件)：

H01L 23/14 C , H01L 23/12 Q

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平3-093687
特開平2-213494
特開昭62-182184

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