特許
J-GLOBAL ID:200903044804243510
光結合装置、光結合装置用の支持体、及びこれらの製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
逢坂 宏
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-073791
公開番号(公開出願番号):特開2005-265885
出願日: 2004年03月16日
公開日(公表日): 2005年09月29日
要約:
【課題】 発光(又は受光)素子及び光導波路の実装時の位置合せを容易かつ高精度に行える光導波路装置等の光結合装置と、これに用いる支持体、並びにそれらの製造方法を提供すること。【解決手段】 端面に形成された光反射面(45度傾斜ミラー面4)を介して光5を導びくように構成された光導波路6と、ミラー面4に対向して配置された発光(又は受光)素子3と、光導波路6及び発光(又は受光)素子3をそれぞれ固定したSi基板1とを有し、この基板1の異方性エッチングによって凹部2と14が形成され、凹部2内に発光(又は受光)素子3が固定され、凹部14を光導波路6の接着固定時の接着剤の逃がし溝とした光導波路装置10としての光結合装置。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
端面に形成された光反射面を介して光を内部又は外部へ導びくように構成された光導波部と、前記端面に対向して配置された発光又は受光素子と、前記光導波部及び前記発光又は受光素子をそれぞれ固定した支持体とを有し、この支持体の異方性エッチングによって凹部が形成され、この凹部内の所定位置に前記発光又は受光素子が固定されている、光結合装置。
IPC (4件):
G02B6/42
, G02B6/122
, H01L31/0232
, H01S5/022
FI (4件):
G02B6/42
, H01S5/022
, G02B6/12 B
, H01L31/02 C
Fターム (37件):
2H047KA04
, 2H047KA05
, 2H047KA13
, 2H047LA09
, 2H047MA07
, 2H047RA00
, 2H137AA12
, 2H137AA17
, 2H137AB12
, 2H137AC05
, 2H137BA32
, 2H137BA35
, 2H137BA55
, 2H137BA58
, 2H137BB03
, 2H137BB13
, 2H137BB27
, 2H137BB31
, 2H137BC52
, 2H137CA19F
, 2H137CA20B
, 2H137CA34
, 2H137CA72
, 2H137CB03
, 2H137CC03
, 2H137CC31
, 2H137EA04
, 2H137FA00
, 5F088BB10
, 5F088JA03
, 5F088JA10
, 5F088JA14
, 5F088JA20
, 5F173MA10
, 5F173MC03
, 5F173MF25
, 5F173MF28
引用特許: