ガラスに被膜を形成するノズル

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青木朗 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-025352
公開番号（公開出願番号）：特開平5-078151
出願日： 1992年02月12日
公開日（公表日）： 1993年03月30日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 CVDとして知られている、ガスから熱分解の方法によりガラス帯体上に薄い被膜の蒸着をするためのノズルに関する。【構成】ガラス帯体10の上方に配設され、かつ、ガス入口27と、下側をガスが走行する中央ブロック34と、吸収ダクト40と、吸引ダクトに近接しガラス帯体10に対して中央ブロック34よりも持ち上げられた下流側末端部42とを具備しているノズルを提供する。【効果】上記ノズルは、大きな厚さの被膜の蒸着及び/又は高いガス流量の使用を可能にする。

請求項（抜粋）：

ガラス上に、例えば浮き浴槽の上を一定速度で移動するガラス帯体(10)上に、層流のガス混合物の熱分解により、被膜を形成するためのノズルであって、該ノズルが、ガラス帯体の全幅を横切って延在し、かつガスのための射出装置(26)と、中央型ブロック(34)と、上流側型末端部(32)と、下流側型末端部(42)とを具備し、前記末端部(32,42)は中央ブロック(34)の各側に配設され、射出装置から到達するガスに、上流側末端部(32)と中央ブロック(34)との間、中央ブロックの下面(38)とガラス帯体(10)との間、及び中央ブロック(34)と下流側末端(42)との間に延びるU字形断面の案内通路(28)に沿う流れ通路を提供するようになっており、前記ノズルはさらに中央ブロック(34)と下流側末端部(42)との間の通路(28)からの出口に配設された、ガスのための吸引又は排出装置(44)を具備している被膜形成用ノズルにおいて、前記下流側末端部(42)が中央ブロック(34)に比べてガラス帯体(10)に対し持ち上げられ、下流側末端部(42)の下面(52)がガラス帯体(10)から離れている距離が少なくとも10mmであることを特徴とするガラス上に被膜を形成するノズル。

IPC (4件)：

C03C 17/25 , C23C 16/16 , C23C 16/24 , C23C 16/54

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭64-079040
特開昭60-209452

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