特許
J-GLOBAL ID：200903044818530512
半導体圧力センサ
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-061844
公開番号（公開出願番号）：特開平5-264381
出願日： 1992年03月18日
公開日（公表日）： 1993年10月12日
要約：
【要約】【目的】圧力を電気信号に変換する半導体歪ゲージをセンサの最大振動が発生する方向に対して直角に配することで、振動の影響を排除し、自動車のように常時振動の加わる場所に装着できるセンサを提供する。【構成】圧力を電気信号に変換する半導体歪ゲージをセンサの最大振動が発生する方向に対して直角に配した圧力センサ。【効果】振動による誤差を生じない圧力センサ。
請求項（抜粋）：
圧力を電気信号に変換する半導体歪ゲージと、該ゲージの出力を増幅する混成圧膜基板を、樹脂モールドハウジングに内蔵される半導体圧力センサにおいて、該ゲージを、センサの最大加速度が発生する方向に対し少なくとも45 ゚から直角に配したことを特徴とする半導体圧力センサ。
IPC (2件)：
G01L 9/04 101
, G12B 5/00
