高純度シリコンの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：森道雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-246853
公開番号（公開出願番号）：特開平11-092130
出願日： 1997年09月11日
公開日（公表日）： 1999年04月06日
要約：

【要約】【課題】品質的に安定し、低価格化に対応した太陽電池用高純度シリコンを高効率で製造する方法を提供する。【解決手段】いわゆる「四塩化珪素の亜鉛還元法」、すなわち、液体または気体状態の四塩化珪素を溶融亜鉛で還元し、生成した多結晶シリコンと塩化亜鉛とを取り出してのち、塩化亜鉛を分離して、多結晶シリコンを回収する高純度シリコンの製造方法であって、分離された塩化亜鉛(ZnCl2)を電気分解して金属亜鉛(Zn)と塩素(Cl2)を回収し、金属亜鉛を再び四塩化珪素の還元剤として、塩素を金属シリコンの塩化処理に用いることを特徴とする高純度シリコンの製造方法である。上述の金属シリコンの塩化処理に際し、塩化亜鉛を電気分解して回収された塩素(Cl2)と金属シリコンの塩化処理で回収された水素(H2)とを合成させた塩化水素(HCl)を用いる。

請求項（抜粋）：

反応容器内で液体または気体状態の四塩化珪素を溶融亜鉛で還元し、生成した多結晶シリコンと塩化亜鉛とを含有する混合物を反応容器外に取り出してのち、前記混合物中の塩化亜鉛を分離して、多結晶シリコンを回収する高純度シリコンの製造方法であって、分離された塩化亜鉛を電気分解して金属亜鉛と塩素を回収し、回収された金属亜鉛を再び前記四塩化珪素の還元剤として用いるとともに、回収された塩素を水素と合成させて塩化水素とし、前記四塩化珪素を生成するための金属シリコンの塩化処理に用いることを特徴とする高純度シリコンの製造方法。

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