特許

J-GLOBAL ID：200903044828715260

ラテラルバイポーラトランジスタ

発明者： 三輪 浩之
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 土屋 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-119467
公開番号（公開出願番号）：特開平5-082529
出願日： 1991年04月23日
公開日（公表日）： 1993年04月02日
要約：

【要約】【目的】ベース領域上のSiO2 膜とベース領域との界面に界面準位が発生するのを抑制して、特性を安定させ信頼性も高める。【構成】ベール領域上のSiO2 膜21上にSiN膜43が積層されている。SiN膜43は膜質が緻密であり、SiO2 膜21とベース領域との界面に外部からHやOHが供給されるのが抑制される。このため、SiO2 膜21とベース領域との界面にホットキャリアが飛び込んで界面準位が発生するのが抑制される。

請求項（抜粋）：

SiO2 膜とこのSiO2 膜上に積層されているSiN膜との少なくとも2層の膜がベース領域上の絶縁膜になっているラテラルバイポーラトランジスタ。

IPC (2件)：

H01L 21/331 ,  H01L 29/73

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-071524
  
• 特開昭61-214569
  
• 特開平1-099243