特許
J-GLOBAL ID：200903044832053034
ウェーハ外周部の研磨装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
落合 稔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-054478
公開番号（公開出願番号）：特開平7-237100
出願日： 1994年02月28日
公開日（公表日）： 1995年09月12日
要約：
【要約】【目的】 良好な研磨を安定かつ迅速に行える、ウェーハ外周部の研磨装置を提供する。【構成】 ウェーハの外周部を、表面に固定砥粒が担持されたテープによって研磨するための研磨装置であって、前記テープが巻回保持され当該テープを繰り出しする繰出し用リールと、この繰出し用リールから繰り出される前記テープを巻き取る巻取り用リールと、この両リールが内部に着脱可能に設置される回転ドラムと、前記回転ドラムを回転させるモータと、前記巻取り用リールを回転させるモータとを有し、前記両リールに巻き掛けられる前記テープの途中部分が、前記回転ドラムの外周に巻回されるように構成された研磨機を複数台備えるとともに、前記ウェーハの主面が前記ドラム回転軸に直交するように当該ウェーハを支持可能で、かつ当該ウェーハを回転させるウェーハ保持手段とを備え、複数台の前記研磨機が、前記ウェーハ保持手段に支持される前記ウェーハの外周に沿って所定間隔で設置されている。
請求項（抜粋）：
ウェーハの外周部を、表面に固定砥粒が担持されたテープによって研磨するための研磨装置であって、前記テープが巻回保持され当該テープを繰り出しする繰出し用リールと、この繰出し用リールから繰り出される前記テープを巻き取る巻取り用リールと、この両リールが内部に着脱可能に設置される回転ドラムと、前記回転ドラムを回転させるモータと、前記巻取り用リールを回転させるモータとを有し、前記両リールに巻き掛けられる前記テープの途中部分が、前記回転ドラムの外周に巻回されるように構成された研磨機を複数台備えるとともに、前記ウェーハの主面が前記ドラム回転軸に直交するように当該ウェーハを支持可能で、かつ当該ウェーハを回転させるウェーハ保持手段とを備え、複数台の前記研磨機が、前記ウェーハ保持手段に支持される前記ウェーハの外周に沿って所定間隔で設置されていることを特徴とする、ウェーハ外周部の研磨装置。
IPC (3件)：
B24B 9/00
, B24B 21/00
, H01L 21/304 301
