特許

J-GLOBAL ID：200903044842048179

クリーン自動作業ラインにおけるクリーンブース

発明者： 保尾 武 ,  加藤 隆司
出願人/特許権者： 新明和工業株式会社
代理人 (1件)： 前田 弘 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-299387
公開番号（公開出願番号）：特開平6-147578
出願日： 1992年11月10日
公開日（公表日）： 1994年05月27日
要約：

【要約】【目的】 一般雰囲気中でクリーン自動作業ラインを構成しているクリーン自動作業装置の周辺のみを、スポット的に安価にクリーン化する。【構成】 クリーンブース11をクリーン自動作業ライン1に沿って移動させる。特定のクリーン自動作業装置2を覆うようにすれば、カバー部材13で覆われた空間部を、クリーン手段15を用いて、ダウンフローのクリーンルームとする。よって、特定のクリーン自動作業装置2の周辺のみをスポット的にクリーンルーム化することができる。

請求項（抜粋）：

一般雰囲気の空間と分離されているワークエリアを有する複数のクリーン自動作業装置が直列に配設されてなるクリーン自動作業ラインにおけるクリーンブースであって、上記自動作業ラインに対し該ラインに沿って移動可能に配設され少なくとも上記各クリーン自動作業装置の外形寸法よりも大きく形成された枠体と、該枠体にその周囲を覆うように設けられ上記自動作業ラインに直交する前後面部が開閉可能であるカバー部材と、上記枠体の上部に設けられカバー部材によって覆われた空間部をダウンフローのクリーンルームとするクリーン手段とを備えることを特徴とするクリーン自動作ラインにおけるクリーンブース。