特許

J-GLOBAL ID：200903044845214118

機能水製造方法及び装置

発明者： 山下 幸福
出願人/特許権者： オルガノ株式会社
代理人 (1件)： 赤塚 賢次 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-169175
公開番号（公開出願番号）：特開2000-354857
出願日： 1999年06月16日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
要約：

【要約】【課題】 掃引ガスとして窒素を使用せず、且つ真空ポンプの容量を増大させることなくそのままで脱ガス効率を向上させることのできる機能水製造方法を提供すること。【解決手段】 純水又は超純水中の溶存ガスを掃引ガスが供給される脱ガス用気液分離膜にて除去し、次いで、脱ガスされた純水又は超純水中に有効ガスを溶解させて機能水を製造する方法において、前記掃引ガスと前記有効ガスが同一ガスである機能水製造方法。

請求項（抜粋）：

純水又は超純水中の溶存ガスを掃引ガスが供給される脱ガス用気液分離膜にて除去し、次いで、脱ガスされた純水又は超純水中に有効ガスを溶解させて機能水を製造する方法において、前記掃引ガスと前記有効ガスが同一ガスであることを特徴とする機能水製造方法。

IPC (4件)：

C02F 1/20 ,  B01F 1/00 ,  C01B 5/00 ,  H01L 21/304 648

FI (4件)：

C02F 1/20 Z ,  B01F 1/00 A ,  C01B 5/00 Z ,  H01L 21/304 648 F

Fターム (9件)：

4D037AA08 ,  4D037AB11 ,  4D037AB18 ,  4D037BA23 ,  4D037BB07 ,  4D037BB09 ,  4D037CA12 ,  4G035AA01 ,  4G035AE13