フリップチップの実装装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小鍜治明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-267161
公開番号（公開出願番号）：特開平8-130230
出願日： 1994年10月31日
公開日（公表日）： 1996年05月21日
要約：

【要約】【目的】バンプを有するフリップチップを基板に作業性よく高速度で実装できるフリップチップの実装装置を提供することを目的とする。【構成】第1のピックアップヘッド5はウエハシート1上のフリップチップ2をピックアップし、上下反転部10の回転部材11のステージ12上に受け渡す。回転部材11は180°回転し、フリップチップ2を上下反転させてテーブル20に移載する。テーブル20上のフリップチップ2の位置ずれを補正した後、第2のピックアップヘッド22はフリップチップ2をピックアップし、可動テーブル25上の基板26に実装する。第1のピックアップヘッド5はウエハシート1上のフリップチップ2を上下反転部10に受け渡すだけであるからそのタクトタイムは大幅に短縮され、フリップチップ2を高速度で基板26に実装できる。

請求項（抜粋）：

チップ供給部にバンプを上面側にして備えられたフリップチップをピックアップする第1のピックアップヘッドと、この第1のピックアップヘッドからフリップチップが受け渡されてこのフリップチップを上下反転させることによりバンプを下面側にする上下反転部と、この上下反転部で上下反転されたフリップチップを載置するテーブルと、このテーブル上のフリップチップをピックアップして基板に移送搭載する第2のピックアップヘッドと、前記上下反転部で上下反転されたフリップチップの位置ずれを補正する位置ずれ補正手段とを備えたことを特徴とするフリップチップの実装装置。

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭64-061027
特開平3-159197
特開平2-056945

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