特許

J-GLOBAL ID：200903044854157798

試料帯電測定方法及び荷電粒子線装置

発明者： 江角 真 ,  小瀬 洋一 ,  池上 明 ,  戸所 秀男 ,  石島 達晃 ,  佐藤 隆博 ,  深谷 律雄 ,  淺尾 一成
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2002006994
公開番号（公開出願番号）：WO2003-007330
出願日： 2002年07月10日
公開日（公表日）： 2003年01月23日
要約：

本発明の目的は、試料上の帯電によって生ずる荷電粒子線装置のフォーカスずれ,倍率変動,測長値誤差を低減するに好適な荷電粒子線照射方法、及び荷電粒子線装置の提供にある。上記目的を達成するために本発明では、荷電粒子線の搬入機構によって搬入される試料の通過中に、試料上の電位を測定する静電電位計によって試料上の電位分布を計測する手法を提案する。また、試料上の特定箇所の局所帯電を計測し、その帯電量から大域帯電量分を分離して計測する手法を提案する。更に、特定箇所の帯電量を、少なくとも2つの荷電粒子光学条件で計測し、特定箇所の帯電量変化に伴う荷電粒子線を用いた寸法測定値の変化を計測し、この変化に基づいて測長値、或いは倍率を補正する手法を提案する。

請求項（抜粋）：

走査荷電粒子線装置の試料室内に試料を搬入するときに、静電電位計を用いて、前記試料表面上の特定方向の電位の分布を計測するステップと、当該計測された特定方向の電位の変化に基づいて、前記試料表面の二次元方向の電位分布を推定するステップを備えたことを特徴とする試料帯電測定方法。

IPC (5件)：

H01J37/20 ,  H01J37/147 ,  H01J37/21 ,  H01J37/28 ,  H01L21/66

FI (6件)：

H01J37/20 H ,  H01J37/20 B ,  H01J37/147 B ,  H01J37/21 B ,  H01J37/28 B ,  H01L21/66 J