帯状ワークの露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長澤俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-273343
公開番号（公開出願番号）：特開2000-095402
出願日： 1998年09月28日
公開日（公表日）： 2000年04月04日
要約：

【要約】【課題】グリップフィード方式で帯状ワークを搬送する露光装置において、帯状ワークにテンションをかけずに露光できるようにすること。【解決手段】送りグリップ部12により帯状ワークWbを把持し、帯状ワークWbを搬送方向下流側に搬送する。帯状ワークWbの搬送中、帯状ワークWbの蛇行を検出し蛇行修正を行う。帯状ワークWbの移動停止後、露光部3の上流側に設けられたワーク固定機構21により帯状ワークWbを固定する。ついで、送りグリップ部12が帯状ワークWbを狭持したまま帯状ワークWbが伸びている量だけ搬送上流に向かって移動し、帯状ワークWbにかかっていたテンションを除去する。次に、ワーク固定機構22により帯状ワークWb固定し、帯状ワークWbをワークステージに吸着固定して、マスクMを移動させてアライメントを行い、帯状ワークWbに露光処理を行う。

請求項（抜粋）：

長尺連続ワークを把持して間歇的に搬送する搬送機構と、上記搬送機構を制御して、上記ワークの未露光領域を間歇的に露光部に搬送制御する制御部とを備え、上記ワークを常時テンションをかけて搬送し、露光部において上記ワーク上に露光処理を行う露光装置において、露光部の上流側に、上記ワークを把持する第1のワーク固定部を設けるとともに、下流側に上記ワークを把持する第2のワーク固定部を設け、また、上記制御部に、ワークにかかるテンションによる伸び分だけワークを上流側に戻す戻し量を記憶する記憶部を設け、ワーク上に露光処理を行うに際し、上記制御部は、ワークを露光部に停止させ、第1のワーク固定部でワークを固定後、上記記憶部に記憶された戻し量に基づき搬送機構を露光部方向に戻して、ワークにテンションがかからない状態にしてから第2のワーク固定部によってワークを固定することを特徴とする帯状ワークの露光装置。

IPC (2件)：

B65H 23/032 , B65H 23/188

FI (2件)：

B65H 23/032 , B65H 23/188 Z

Fターム (12件)：

3F104AA03 , 3F104AA05 , 3F104CA25 , 3F104CA36 , 3F105AA04 , 3F105AA08 , 3F105BA04 , 3F105BA13 , 3F105BA20 , 3F105DA29 , 3F105DB11 , 3F105DC13

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開平3-242651
特開平3-019249
露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-334487 出願人：日本精工株式会社

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