特許

J-GLOBAL ID：200903044856192540

高さ測定を有する基板検査装置

発明者： 田代 克
出願人/特許権者： オプトウエア株式会社
代理人 (1件)： 田代 克
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-293109
公開番号（公開出願番号）：特開2006-078457
出願日： 2004年09月06日
公開日（公表日）： 2006年03月23日
要約：

【課題】 結像レンズを大幅に小型化し、通常の小型PSDを用いた簡単な構成とすることによりコストを低減し、また測定光を再度走査ミラーに通すことにより面倒れなどの誤差をキャンセルできる高精度な測定系を実現し、さらに結像倍率を自由に変更できる柔軟性の高い基板検査装置を提供することを課題とする。【解決手段】 平行光束を出射する光源1と、光束をわける第1のビームスプリッタ12と、光束の角度を変える走査ミラー2と、走査光束を集光する走査レンズ3と、走査光束を二つにわける第2のビームスプリッタ13と、わけた光束を折り返すミラー15と、第1のビームスプリッタ12でわけられた光束を集光する結像レンズ17と、集光された光ビーム位置を検知するPSD18とで構成されることとした。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

平行光束を出射する光源と、光束をわける第1のビームスプリッタと、光束の角度を変える走査ミラーと、走査光束を集光する走査レンズと、走査光束を二つにわける第2のビームスプリッタと、わけた光束を折り返すミラーと、第1のビームスプリッタでわけられた光束を集光する結像レンズと、集光された光ビーム位置を検知するPSDとで構成されることを特徴とする走査型高さ測定装置。

IPC (1件)：

G01B 11/02

FI (1件)：

G01B11/02 Z

Fターム (23件)：

2F065AA24 ,  2F065BB01 ,  2F065CC01 ,  2F065CC17 ,  2F065DD02 ,  2F065FF23 ,  2F065GG04 ,  2F065HH04 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ16 ,  2F065LL04 ,  2F065LL08 ,  2F065LL10 ,  2F065LL15 ,  2F065LL35 ,  2F065LL37 ,  2F065LL59 ,  2F065LL62 ,  2F065MM02 ,  2F065MM16 ,  2F065PP12 ,  2F065UU05 ,  2F065UU06

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭49-083470
  
• 高さ測定を有する基板検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-038993   出願人：オプトウエア株式会社, 有限会社アイシスウエア