特許

J-GLOBAL ID：200903044874831100

ポジ型レジスト組成物

発明者： 児玉 邦彦 ,  青合 利明
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 小栗 昌平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-188077
公開番号（公開出願番号）：特開2002-006480
出願日： 2000年06月22日
公開日（公表日）： 2002年01月09日
要約：

【要約】【課題】 非画像部と画像部の溶解ディスクリミネーションが向上し、高感度および高解像力であり、更に現像欠陥に対して問題が生じず、かつ疎密依存性の優れたポジ型感光性組成物を得る。【解決手段】(A)酸の作用により分解し、アルカリ現像液への溶解性が増大する樹脂、(B1)分子内にスルホニウムカチオン構造を2つ以上有する活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物少なくとも1種、及び(B2)ビス(スルホニル)ジアゾメタン構造を有する活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物少なくとも1種を含有するポジ型レジスト組成物。

請求項（抜粋）：

(A)酸の作用により分解し、アルカリ現像液への溶解性が増大する樹脂、(B1)分子内にスルホニウムカチオン構造を2つ以上有する活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物少なくとも1種、及び(B2)ビス(スルホニル)ジアゾメタン構造を有する活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物少なくとも1種を含有するポジ型レジスト組成物

IPC (13件)：

G03F 7/004 503 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 504 ,  C08F 2/44 ,  C08F291/00 ,  C08K 5/00 ,  C08K 5/16 ,  C08K 5/41 ,  C08L101/02 ,  C09K 3/00 ,  H01L 21/027 ,  C07C381/12 ,  C07C381/14

FI (13件)：

G03F 7/004 503 A ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 504 ,  C08F 2/44 C ,  C08F291/00 ,  C08K 5/00 ,  C08K 5/16 ,  C08K 5/41 ,  C08L101/02 ,  C09K 3/00 K ,  C07C381/12 ,  C07C381/14 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (108件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BC12 ,  2H025BE00 ,  2H025BE07 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025BJ04 ,  2H025CB43 ,  2H025CB45 ,  2H025CC04 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  4H006AA03 ,  4H006AB76 ,  4H006AB80 ,  4H006AB81 ,  4H006TA02 ,  4H006TB04 ,  4H006TB54 ,  4H006TC09 ,  4J002BC12W ,  4J002BC12X ,  4J002CC04X ,  4J002CC07X ,  4J002CD053 ,  4J002CD063 ,  4J002EA049 ,  4J002ED029 ,  4J002EE019 ,  4J002EL039 ,  4J002EL049 ,  4J002EL059 ,  4J002EL089 ,  4J002ER028 ,  4J002EU028 ,  4J002EU048 ,  4J002EU078 ,  4J002EU128 ,  4J002EU138 ,  4J002EU208 ,  4J002EU238 ,  4J002EV217 ,  4J002EV296 ,  4J002FD310 ,  4J002GP03 ,  4J011QA03 ,  4J011QA08 ,  4J011QA09 ,  4J011QA34 ,  4J011QA35 ,  4J011QA36 ,  4J011QA37 ,  4J011QA38 ,  4J011QA39 ,  4J011QA40 ,  4J011QB15 ,  4J011QB19 ,  4J011QB20 ,  4J011QB22 ,  4J011RA04 ,  4J011RA11 ,  4J011RA12 ,  4J011SA78 ,  4J011SA79 ,  4J011SA82 ,  4J011SA83 ,  4J011SA87 ,  4J011TA08 ,  4J011UA02 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  4J026AA19 ,  4J026AA20 ,  4J026AA30 ,  4J026AA45 ,  4J026AA55 ,  4J026AA56 ,  4J026AA57 ,  4J026AB01 ,  4J026AB46 ,  4J026AC18 ,  4J026AC19 ,  4J026AC23 ,  4J026AC25 ,  4J026AC26 ,  4J026AC28 ,  4J026AC33 ,  4J026AC36 ,  4J026BA01 ,  4J026BA05 ,  4J026BA06 ,  4J026BA08 ,  4J026BA15 ,  4J026BA40 ,  4J026DB26 ,  4J026DB27 ,  4J026DB29 ,  4J026DB36 ,  4J026GA02 ,  4J026GA06 ,  4J026GA07